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半自動內外層DI

序號 系列 標準系列
設備型號 KST-DI2432-6XLB
1 生產尺寸 12"×12" (Min)   24.5"×32.5" (Max)
2 基材厚度 0.08 - 4.0 mm
3 線寬解析精度 40μm/40μm
4 景深 ±300μm
5 對位精度 ±8μm
6 內層層間對準精度 24μm
7 制板速度 24.5 "×32.5 "   20mj : 8.0–9.0 PNL/min
8 感光材料 干膜、DI專用油墨
9 DI鏡頭個數 6
10 均勻性 ≥90%
11 光源波長 405nm
12 光源輸出功率 65W/頭
13 曝光方式 單面曝光
14 資料輸入 Gerber274X、Gerber274D、ODB+ +
15 圖形脹縮管理 固定脹縮;自動脹縮;分區脹縮;測量脹縮
16 掃碼MARK功能 打印日期;時間;序號;脹縮系數等
17 靶標對位 正面對位
18 多區域曝光 支持
19 工作高度 800±50mm
20 環境需求 溫度:22±2°C 濕度:55%±5% 萬級無塵室
21 電源需求 三相五線;380VAC/50Hz/ 20 KVA
22 氣壓源需求 6-7Kg/cm²,流量500L/min
23 冰水需求 7-12℃,流量70L/min,壓力2-3Kg/cm² ×2
24 設備尺寸 2980mm  (L)×1760mm  (W)×2050mm  (H)
25 設備重量 總重約  4500Kg


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