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全自動內外層DI

序號 系列 標準系列 超大系列
設備型號 KST-DI2432A-12XLB KST-DI2449A-12XLB
1 生產尺寸 12"×12" (Min)   24.5"×32.5" (Max) 12"×12" (Min)   24.5"×49.5" (Max)
2 基材厚度 0.08 - 4.0 mm
3 線寬解析精度 40μm/40μm 50μm/50μm
4 景深 ±300μm
5 對位精度 ±8μm ±12μm
6 內層層間對準精度 24μm
7 制板速度 24.5 "×32.5 "20mj : 8.0–9.0 PNL/min 24.5 "×49.5 "20mj : 6.5–7.5 PNL/min
8 感光材料 干膜、DI專用油墨
9 DI鏡頭個數 6×2
10 均勻性 ≥90%
11 光源波長 405nm
12 光源輸出功率 65W/頭
13 曝光方式 單面曝光
14 資料輸入 Gerber274X、Gerber274D、ODB+ +
15 圖形脹縮管理 固定脹縮;自動脹縮;分區脹縮;測量脹縮
16 掃碼MARK功能 打印日期;時間;序號;脹縮系數等
17 靶標對位 正面對位
18 多區域曝光 支持
19 工作高度 1040±50mm
20 環境需求 溫度:22±2°C 濕度:55%±5% 萬級無塵室
21 電源需求 三相五線;380VAC/50Hz/ 25 KVA×2 三相五線;380VAC/50Hz/ 30 KVA×2
22 氣壓源需求 6-7Kg/cm²,流量1000L/min×2 6-7Kg/cm²,流量 1500L/min×2
23 冰水需求 7-12℃,流量70L/min,壓力2-3Kg/cm² ×2
24 設備尺寸 6400mm(L)×2930mm(W)×2050mm(H) 6400mm(L)×3500mm(W)×2050mm(H)
25 設備重量 總重約12300Kg  (單機重4400Kg×2, 輸送線+翻轉機約重3500Kg ) 總重約14800Kg  (單機重5400Kg×2, 輸送線+翻轉機約重4000Kg )


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